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影响无尘洁净室清洁度和挑选风速的主要要素

作者: 浏览:141 时间:2023-07-20

# 无尘洁净室的风速/换气次数一直是洁净室规划中关注的问题。跟着洁净室污染源操控效果的提高和终滤器效率的提高,有关标准和导则中提出的推荐值或参考值是否保存已引起广泛评论;FFU在实际使用中,解决了人们忧虑的噪声、损坏和维护问题。跟着FFU技术的不断完善,是否采用FFU回风体系也是一个热点问题:悬浮分子污染(AMC)的操控已日益提上微电子和IC职业的议事日程。以下是对这些问题的总结和剖析。

 

       无尘洁净室在必定清洁度下的空气流速的测定因洁净室的使用等具体条件而异。它不仅受室内粉尘产生和过滤效率的影响,还受其他要素的影响。关于工业洁净室,影响清洁度和挑选风速的主要要素有:
       (1) 室内污染源:修建构件、人员数量和作业活动、工艺设备、工艺材料和工艺自身均为粉尘颗粒释放源,根据具体情况改变较大;
       (2) 室内气流流型及分布:单向流要求流线均匀、均匀,但会受到工艺设备安置、位置改变及人员活动的干扰,形成部分涡流;代替单向活动,它需求填充和混合,以避免死角和温度分层。